Các thông số này thường được thể hiện qua các đại lượng vật lý đặc trưng tương ứng như nhiệt độ, áp suất, lưu lượng... Vì vậy, không có cách nào khác là chúng ta phải có các phương pháp tương ứng để đo lường giá trịcủa các đại lượng vật lý này.
Đo lường: là một quá trình đánh giá định lượng đại lượng cần đo để có kết quả bằng số so với đơn vị đo. [1]
(Như vậy, không phải đại lượng nào cũng có thể đo được một cách trực tiếp vì không có đơn vị mẫu của đại lượng đó để thực hiện so sánh, ví dụ: ứng suất cơ học… Khi đó người ta phải chuyển đổi đại lượng vật lý này sang dạng khác để thực hiện phép đo, ví dụ: chuyển sang dạng điện loadcell cảm biến lực căng và so sánh bằng tương quan điện)

Chương 1:Những khái niệm và đặc trưng cơ bản của kỹ thuật đo lường và cảm biến.................................................................................................................2
1.1 Một số định nghĩa và đặc trưng........................................................................2
1.2 Phân loại cảm biến..........................................................................................11
1.3 Các đại lượng ảnh hưởng................................................................................15
1.4 Mạch đo lường và gia công thông tin đo........................................................16
1.5 Sai số phép đo và gia công kết quả đo lường.................................................17
1.6 Chuẩn cảm biến..............................................................................................19
1.7 Độ nhạy...........................................................................................................20
1.8 Độ tuyến tính..................................................................................................21
1.9 Độ nhanh-Thời gian hồi đáp...........................................................................22
1.10 Giới hạn sử dụng cảm biến...........................................................................23
1.11 Các mạch giao diện điện tử của các bộ cảm biến.........................................24
Chương 2: Các chuyển đổi đo lường sơcấp.....................................................30
2.1 Khái niệm chung.............................................................................................30
2.2 Các chuyển đổi điện trở..................................................................................33
2.3 Các chuyển đổi điện từ...................................................................................43
2.4 Các chuyển đổi tĩnh điện................................................................................58
2.5 Các chuyển đổi nhiệt điện..............................................................................73
2.6 Các chuyển đổi hóa điện.................................................................................84
2.7 Các chuyển đổi điện tử và ion........................................................................96
2.8 Các chuyển đổi lượng tử.................................................................................99
Chương 3 Cảm biến thông minh.....................................................................105
3.1 Sự ra đời của cảm biến thông minh..............................................................105
3.2 Vi điện tử hóa các chuyển đổi sơ cấp...........................................................105
3.3 Xử lý sơ bộ kết quả đo trong cảm biến thông minh.....................................106
3.4 Cấu trúc của cảm biến thông minh...............................................................109
3.5 Một sốví dụ về cảm biến thông minh..........................................................110
3.7 Thiết bị đo thông minh và linh hoạt.............................................................111